怎樣選擇干式真空泵

為了適應不同的使用要求，干式真空泵被分為許多不同類型的設備。對此，為了適應不同的使用需求，下面將介紹如何正確選擇它們。

不同類型的干式真空泵，我們總是渴望能夠減小它們的物理尺寸。然而，這與真空泵的抽速相矛盾，干式真空泵的抽速與容積成正比。較小的物理尺寸意味著體積也很小。當然，影響干式真空泵抽速的另一個重要因素是速度。為了使小型真空泵的吸氣速度與大型真空泵的吸氣速度相匹配，需要提高速度。改變干式真空泵轉速的方法有兩種，一種是改變電源的頻率，即使用變頻器；另一種是改變變速箱的傳動比。其中，使用變頻器的優點是可以提供閉環控制，但在重載時容易造成轉矩損失。改變變速箱的傳動比是一種非常經濟的方法，當然只能提供單速，無法控制。

意外的干式真空泵錯誤會降低機器效率，影響晶圓生產和交付，甚至導致晶圓報廢和其他零件的加工損壞。由于螺桿設計采用單級設計，與滾珠槽、爪形和組合等多級泵相比，使用的零件數量可減少60%。這對于干式真空泵的穩定性和未來維護成本來說是一個很大的優勢。

一般來說，如果用戶認為功耗對他來說很重要，那么選擇內壓螺桿干式真空泵可能是一個不錯的選擇，而氮含量對他來說并不重要。但總的來說，對廢氣處理的要求越來越嚴格，未來減少氮氣的使用量就顯得尤為重要。如果您想在不使用簡單的庫存控制泵改變它們的情況下處理各種半導體工藝，外部壓縮螺釘干式真空泵是較好的選擇。

結合上述所有設計類型的優點是理想的，具體取決于具體情況，但目前還不可能。因此，用戶需要了解干式真空泵的設計類型，然后根據自己的工藝特點了解不同類型的泵設計的影響。這種選擇可以降低干式真空泵使用成本，并獲得更長的使用壽命和穩定的真空系統。